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- 集成電路及微電子制造
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微納電路退火機RTP100
產(chǎn)品型號:RTP100
微納電路退火機
- 詳細內(nèi)容
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1、樣品尺寸:≤Φ100;
2、控溫范圍:室內(nèi)溫度~1200℃;
3、升溫速率:50℃/s;
4、控溫精度:±0.5℃(RT~1000℃) ,±1℃(1000~1200℃);
5、溫度均勻性:≤1.5%設(shè)定溫度(石墨托盤);
6、退火速率:1200℃→400℃,裸片是600℃/min(雙石墨盤是130℃/min)。400℃→100℃,裸片是20℃/min(雙石墨盤是10℃/min)(氮氣吹掃);
7、退火溫區(qū)控制:有;
8、PID自整定:配置;
9、爐壁溫度監(jiān)測:有;
10、水冷異常監(jiān)測:有;
11、真空度監(jiān)測:有。
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