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1、適用晶圓：4吋及以下；

2、烘膠面板尺寸：Φ120mm；

3、烘烤溫度：≤200℃；

4、控溫精度：±2℃；

5、控溫形式：采用溫控儀PID調節(jié)，自動測溫，控溫；

6、烘膠板材料：不銹鋼；

7、電源：AC220/50Hz，600W；

8、外形尺寸：W280 mm×H360 mm×D220mm。