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1、尺寸：6英寸圓片，向下兼容4、2、1英寸；

2、產(chǎn)量：1~ 20 片/批；

3、工藝類(lèi)型：干氧（O2）→濕氧（H2O蒸汽）→干氧工藝；

4、溫度控制范圍：500℃～1100℃；

5、溫控區(qū)長(zhǎng)度：200mm；

6、溫控精度：≤±1℃，800℃以上≤±1℃（爐管方向）；

7、爐體升降溫速率：最大升溫速率12℃/分鐘；

8、氣體管路：流量計(jì)控制工藝氣體流量，保護(hù)氣體由浮子流量計(jì)控制；

9、推舟方式：采用懸臂桿，全自動(dòng)送片機(jī)構(gòu)；

10、溫控方式：具有全自動(dòng)升降溫及恒溫功能；

11、保護(hù)功能：具有超溫、熱短路、流量偏差、排風(fēng)、冷卻水缺液報(bào)警等保護(hù)功能；

12、工藝控制：工藝過(guò)程由工控計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制，存儲(chǔ)不少于 50條工藝曲線；

13、電源：380VAC/50Hz，25KW；

14、重量：800Kg；

15、機(jī)器外形尺寸：W3000mm×H1700mm×D1000mm。